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장비기본정보

기관명
강원대학교 공동실험실습관
장비명
전계방사형 주사전자현미경(FE-SEM)-II (Field Emission Scanning Electron Microscope-II)
모델명
JSM-7900F
제작사(국가)
JEOL(Japan)
제작년도
2020
용도
분석
분류
분석장비
취득일
2020.11.26
장비설명
"Shottky 전계방사형 전자총으로부터 방출된 전자빔을 시료 표면에 조사시킴으로써 시료표면에서 방출되는 2차전자(SE) 및 후방산란전자(BSE)를 검출하여 시료의 표면 형태나 표면 정보 등 미세구조를 관찰할 수 있는 장비.
저전압 FE-SEM으로 초저가속전압(1kV이하)에서도 고배율 이미지를 관찰할 수 있어 시료 표면 손상이 일어나기 쉬운 유기재료 등의 표면 관찰 가능.
다양한 위치의 다양한 detector(UED, USE, LED, RBED)를 통해 원하는 이미지의 구현과 비교가 가능."
장비구성

성능
"• JSM-7900F
- Resolution: 0.6nm at 15kV, 0.7nm at 1kV, 1nm at 500V
- Magnification: x25 to 1,000,000
- Accelerating Voltage: 0.01 to 30kV
- GB mode 0~5kV
- Probe Current: A few pA to 500nA
- Detector: Upper Electron Detector(UED), Upper Secondary Electron Detector(USD)
Lower Electron Detector(LED), Retractable Backscattered Electron Detector(BED)
- Energy Filter: Energy Filter + UED
- Aperture Control Lens: ACL + OL
- Objective Lens: Super Hybrid Lens
- Neo Engine: Yes
- LDF: Yes
- Specimen Movement
X: 70mm(motor driven)
Y: 50mm(motor driven)
Z: 2 to 41mm(motor driven)
Tilt: -5 to 70°(motor driven)
Rotation: 360°(motor driven)
• EDS(Aztec Live)
- Resolution: 127eV at Mn Ka, 130,000 cps
- Detector: Analytical Silicon Drift Detector(SDD Type), LN2 Free
- Detectable electrons: 4 Be to 94 Pu
- Sens Area: 100mm2"
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
이용료
설치형태
설치장소
미래관 207-1호
장비상태
정상
담당자
이현아
연락처
0332507146
팩스
사용방법
온라인

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5611
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